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气相沉积炉
气相沉积炉
主要特点 :
气相沉积炉的用途: 本化学气相沉积石墨化一体炉可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理、石墨件的表面增碳处理、石墨烯的生产。 气相沉积炉的特点: 采用多功能高温设计,可实现化学气相沉积和石墨
使用行业 :
  • 产品详情
  • 产品规格
  • 使用步骤
  • 气相沉积炉原图2

    气相沉积炉的用途:
      本化学气相沉积石墨化一体炉可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理、石墨件的表面增碳处理、石墨烯的生产。
     气相沉积炉的特点:
      采用多功能高温设计,可实现化学气相沉积和石墨化处理一次性完成。
      使用温度高达2600,并可长时间稳定可靠运行。
      采用热电偶和红外测温仪组合的测温自动转换系统,可实现全温度段的显示和控制。
      采用IGBT为主功率器件的感应加热变频控制系统,使得设备节能省电,谐波分量小,对外部设备无干扰。
      进出气体的精确流量显示和控制,保证了产品的稳定性。
      采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强; 
      采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
      特制的过滤系统,对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理;
     气相沉积炉的技术参数:


    参数

    型号

    HYSJL-3040

    HYSJL-4050

    HYSJL-5060

    HYSJL-6080

    HYSJL-8080

    工作区尺寸DXHmm)

    Ф300X

    400

    Ф400X

    500

    Ф500X

    600

    Ф600X

    800

    Ф800X

    800

    最高工作温度(

    1500

    2600

    1500

    2600

    1500

    2600

    1500

    2600

    1500

    2600

    温度均匀性(

    ±7.5

    ±7.5

    ±7.5

    ±7.5

    ±7.5

    工作电压(V)

    三相380

    额定功率(KW)

    40

    80

    60

    150

    80

    160

    90

    200

    160

    350

    工作气氛

    真空/氩气/氮气/氢气/炳烷/石油天然气

    以上化学气相沉积炉技术参数可根据工艺参数进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准??山喑粱透呶率街止δ芊挚?,单独做成化学气相沉积炉和高温石墨化炉。

     



    联系方式 / CONTACT WAY

    联系红亚株洲红亚电热设备有限公司

    座  机:0731-22493281

    传  真:0731-22492181

    联系人:言先生

    手  机:13973335809  

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    销售部:杨经理 

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    Q  Q:824352602

    公司地址:湖南省株洲市荷塘区金精路158嘉德工业园1

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