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重结晶碳(炭)化硅烧结炉
重结晶碳(炭)化硅烧结炉
主要特点 :
重结晶碳化硅烧结炉 重结晶碳化硅烧结炉的用途: 用于重结晶碳化硅的高温烧结和高温热处理。 重结晶碳化硅烧结炉的特点: 1.高温可达2500℃,且可在2400℃高温下长期稳定工作; 2.炉型有上装料,下装料、真空或气氛?;さ榷嘀盅≡?; 3.炉体双层水冷,密封性好,全密封
使用行业 :
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  • 重结晶碳化硅烧结炉

     

    重结晶碳化硅烧结炉的用途: 

    用于重结晶碳化硅的高温烧结和高温热处理。
    重结晶碳化硅烧结炉的特点:
    1.高温可达2500℃,且可在2400℃高温下长期稳定工作;
    2.炉型有上装料,下装料、真空或气氛?;さ榷嘀盅≡?;
    3.炉体双层水冷,密封性好,全密封结构,带真空抽气系统和氩气置换系统,?;ち寺迥谄宓拇慷?;
    4.IGBT节能省电,采用立式真空感应加热方式,加热效率高,节能省电。
    5.空载:升温速率高达600℃/h;
    6.产品生产周期短,从入炉到出炉时间只需要24h-36h(大炉时间长);
    7.采用特殊的红外测温技术,PID分段程序控制升温曲线??匚戮?,误差小。
    8.安全性高,采用双层不锈钢炉壳,夹层通水冷却,炉外壳温度低于50℃。带有气压,水压和高温报警,同时备有超压泄气装置。
    9.采用人机工控触摸屏进行操控和温度记录,操作方便又实用。
    10.可根据工艺需要加装多级过滤系统,能有效的?;ふ婵栈?。
    11.一机多炉??樽楹辖峁?,可实现一机配多炉。
    重结晶碳化硅烧结炉的配置:
    控制柜与炉体组合:一机一炉/一机二炉/一机四炉/一机六炉U
    炉体结构:立式上开盖装料,立式下开盖装料
    炉门:丝杠升降/液压升降/手动升降;手动锁紧
    炉壳:内层不锈钢/全不锈钢
    炉胆:石墨毡/复合硬毡
    工作温度:1600/2000/2400
    工作气氛:高真空/低真空/氢气?;?惰性气体?;?/span>
    加热器:钨/模压三高石墨/细颗粒石墨
    真空泵、真空计和红外测温仪:进口/国产
    中频电源:IGBT/KGPS
    人机界面:触摸屏/工控机
    PLC:欧姆龙/西门子
    控温仪表:日本岛电/英国欧陆/国产宇电
    记录仪:无纸记录仪/有纸记录仪;进口/国产
    电器元件:正泰/施耐德/西门子 

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